檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "郭鴻飛".cadvisor (精準) and ckeyword.raw="散射量測"
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半導體製程技術的進步促使元件結構的微縮,除了對製程技術迎來更大的挑戰,同時也需要更有效率的量測方法來驗證製程結果。關鍵尺寸(Critical dimension)量測技術是驗證製程標準的關鍵步驟。傳…